計測装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：小谷悦司 , 小谷昌崇 , 西谷浩治
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-225805
公開番号（公開出願番号）：特開2018-084418
特許番号：特許第6851617号
出願日： 2016年11月21日
公開日（公表日）： 2018年05月31日
請求項（抜粋）：

【請求項1】先端が計測対象物に押し当てられる探針と、前記探針に伝達された前記計測対象物の振動の強度を検出する振動センサと、前記探針に加わる押当力を検出する押当力センサと、前記押当力センサによって検出された前記押当力が所定範囲内である場合にのみ、前記振動センサによって検出された前記振動の強度を取得する取得部と、前記計測対象物の表面温度を検出する温度センサと、を備え、前記取得部は、更に、前記押当力センサによって検出された前記押当力が前記所定範囲内である場合にのみ、前記温度センサによって検出された前記表面温度を取得し、前記温度センサは、熱電対を備え、前記熱電対は、前記探針の先端の近傍において前記探針を取り囲むように設けられた取り囲み部と、側面視において、前記取り囲み部が前記探針の長手方向に対して傾斜し、且つ、前記押当力が前記所定範囲の下限値であるときの前記探針の先端よりも先端側に前記取り囲み部の先端が存在するように、前記取り囲み部の後端のみを支持する支持部と、を備え、前記取り囲み部は、前記側面視における先端に熱接点を備える計測装置。

IPC (2件)：

G01H 11/08 ( 200 6.01) , F16T 1/48 ( 200 6.01)

FI (2件)：

G01H 11/08 Z , F16T 1/48 D

引用特許：

出願人引用 (2件)

圧力センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願2014-019399 出願人：株式会社テージーケー
振動測定装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-288907 出願人：アンリツ株式会社

審査官引用 (2件)

圧力センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願2014-019399 出願人：株式会社テージーケー
振動測定装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-288907 出願人：アンリツ株式会社

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