被接合部材を接合する方法、および接合体

発明者： , , , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (2件)：伊東忠重 , 伊東忠彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2020-030890
公開番号（公開出願番号）：特開2021-133390
出願日： 2020年02月26日
公開日（公表日）： 2021年09月13日
要約：

【課題】迅速に接合処理を行うことが可能な上、2つの被接合部材の間に間隙が存在しても、適正に接合を行うことが可能な接合方法。【解決手段】第1の被接合部材と第2の被接合部材とを配置して、組立体を構成する工程と、前記組立体に第1および第2のレーザを照射する工程であって、第1のレーザは、第1の被接合部材または第2の被接合部材の表面に、加工起点となる光吸収性の領域を形成し、第2のレーザは、前記加工起点となる位置を含むように照射され、これにより、光吸収性の領域から溶融物が生成される工程と、第2のレーザの照射を継続する工程であって、前記溶融物の内部にガスが発生し、前記ガスの圧力により、前記溶融物を介して、第1の被接合部材と第2の被接合部材が接合される、工程と、を有する、方法。【選択図】図8

請求項（抜粋）：

被接合部材を接合する方法であって、 (I)第1の表面および第2の表面を有する第1の被接合部材と、第3の表面および第4の表面を有する第2の被接合部材とを、前記第2の表面と前記第3の表面が相互に対面するように配置して、組立体を構成する工程と、 (II)前記組立体に第1のレーザおよび第2のレーザを照射する工程であって、前記第2のレーザの照射は、 (a)前記第1のレーザの照射前、 (b)前記第1のレーザの照射と同時、または (c)前記第1のレーザの照射後のいずれかのタイミングで開始され、前記第1のレーザは、短パルスレーザであり、前記第1の被接合部材の側から照射され、前記第2の表面または前記第3の表面に、加工起点となる光吸収性の領域を形成し、前記第2のレーザは、連続波レーザであり、前記加工起点となる位置を含むように照射される、工程と、 (III)前記(II)の工程において、前記光吸収性の領域から溶融物が生成される工程と、 (IV)前記第2のレーザの照射を継続する工程であって、前記溶融物の内部にガスが発生し、前記ガスの圧力により、前記溶融物が前記第2の表面および/または前記第3の表面の面方向に広がり、これにより、前記第1の被接合部材と前記第2の被接合部材の間に接合領域が形成される、工程と、を有する、方法。

IPC (6件)：

B23K 26/18 , B23K 26/324 , B23K 26/53 , B23K 26/57 , C03B 23/203 , H01L 21/02

FI (6件)：

B23K26/18 , B23K26/324 , B23K26/53 , B23K26/57 , C03B23/203 , H01L21/02 B

Fターム (25件)：

4E168AE02 , 4E168AE03 , 4E168AE05 , 4E168BA02 , 4E168BA90 , 4E168DA02 , 4E168DA03 , 4E168DA04 , 4E168DA13 , 4E168DA32 , 4E168DA40 , 4E168DA42 , 4E168DA45 , 4E168DA46 , 4E168EA02 , 4E168EA04 , 4E168EA08 , 4E168EA09 , 4E168FD01 , 4E168FD04 , 4E168JA12 , 4E168JA13 , 4E168JA14 , 4E168JA15 , 4E168JA17

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