特許
J-GLOBAL ID：202103010242239101
X線回折装置による格子面間隔の測定結果を解析する方法、装置およびプログラム
発明者：
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
特許業務法人第一国際特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2020-046321
公開番号（公開出願番号）：特開2021-148488
出願日： 2020年03月17日
公開日（公表日）： 2021年09月27日
要約：
【課題】X線応力測定法において、組成の分析を不要とする技術を提供する。【解決手段】X線回折装置による格子面間隔の測定結果を解析する方法は、試料の仮の組成を設定するステップと、仮の組成から回折弾性定数を計算するステップと、X線回折装置による格子面間隔の測定結果と回折弾性定数とから、応力解析を行い、応力と無歪状態の格子定数とを求めるステップと、無歪状態の格子定数から試料の推定組成を推定するステップと、推定組成と仮の組成とを比較するステップと、を有する。また、X線回折装置による格子面間隔の測定結果を解析する方法は、推定組成と仮の組成との差が所定の範囲内である場合、解析を終了し、推定組成と仮の組成との差が所定の範囲内でない場合、新たな仮の組成を設定して解析を繰り返す。【選択図】図3
請求項（抜粋）：
X線回折装置による格子面間隔の測定結果を解析する方法であって、
試料の仮の組成を設定するステップと、
前記仮の組成から回折弾性定数を計算するステップと、
X線回折装置による格子面間隔の測定結果と前記回折弾性定数とから、応力解析を行い、応力と無歪状態の格子定数とを求めるステップと、
前記無歪状態の格子定数から前記試料の推定組成を推定するステップと、
前記推定組成と前記仮の組成とを比較するステップと、
を有するX線回折装置による格子面間隔の測定結果を解析する方法。
IPC (4件)：
G01L 1/25
, G01N 23/205
, G01N 23/207
, G01L 1/00
G01L1/25
, G01N23/2055 320
, G01N23/207
, G01L1/00 B
2G001AA01
, 2G001BA23
, 2G001CA01
, 2G001KA01
, 2G001KA07
, 2G001KA08
, 2G001LA02
, 2G001LA06
