特許
J-GLOBAL ID：202103010582944160
基材をコーティングするための真空蒸着設備及び方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
特許業務法人川口國際特許事務所
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2020-532618
公開番号（公開出願番号）：特表2021-507100
出願日： 2018年12月11日
公開日（公表日）： 2021年02月22日
要約：
本発明は、金属又は金属合金から形成されたコーティングを走行中の基材上に連続的に堆積させるための真空蒸着設備であって、-蒸気ジェットコータを備える中央ケーシングであって、この中央ケーシングの内壁は、金属又は金属合金の蒸気の凝縮温度よりも高い温度で加熱されるのに適している、中央ケーシングと、-この中央ケーシングの基材出口に配置される蒸気トラップであって、この蒸気トラップの内壁は、金属又は金属合金の蒸気の凝縮温度よりも低い温度で維持されるのに適している、蒸気トラップと を備え、 この中央ケーシングをこの蒸気トラップに連結する通路は、少なくともこの中央ケーシングの内壁からこの蒸気トラップの内壁まで延在する少なくとも1つの熱コネクタを備える、真空蒸着設備に関する。
請求項（抜粋）：
金属又は金属合金から形成されたコーティングを走行中の基材(S)上に連続的に堆積させるための真空蒸着設備(1)であって、前記設備は、前記基材(S)が所定の経路(P)に沿って走行することができる真空チャンバ(2)を備え、前記真空チャンバが、
中央ケーシングの2つの対向する側面に配置される基材入口(5)及び基材出口(6)と蒸気ジェットコータ(7)とを備える中央ケーシング(4)であって、前記中央ケーシングの内壁は、金属又は金属合金の蒸気の凝縮温度よりも高い温度で加熱されるのに適している、中央ケーシング(4)と、
前記中央ケーシングの基材出口(6)に配置される外部ケーシングの形態の蒸気トラップ(8)であって、前記蒸気トラップの内壁は、金属又は金属合金の蒸気の凝縮温度よりも低い温度で維持されるのに適している、蒸気トラップ(8)と
をさらに備え、
前記中央ケーシングを前記蒸気トラップに連結する通路が、少なくとも前記中央ケーシングの内壁から前記蒸気トラップの内壁まで延在する少なくとも1つの熱コネクタ(11)を備える、真空蒸着設備(1)。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (13件)：
4K029AA02
, 4K029AA25
, 4K029BA21
, 4K029CA01
, 4K029DA08
, 4K029DB04
, 4K029DB12
, 4K029DB18
, 4K029DB19
, 4K029DB22
, 4K029JA10
, 4K029KA03
, 4K029KA09
