特許
J-GLOBAL ID：202103010599486204
湿式処理による表面粗化方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
特許業務法人はなぶさ特許商標事務所
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2017-539980
特許番号：特許第6823293号
出願日： 2016年09月15日
請求項（抜粋）：
【請求項1】基板の表面上に無機粒子(a1)が有機溶剤に分散したゾルと有機樹脂(a2)を含む組成物(a3)を塗布し、次いで乾燥と硬化を為すことにより有機樹脂層(A)を該基板上に形成する第1工程、
有機樹脂層(A)が形成された基板をフッ化水素、過酸化水素、又は酸を含む溶液でエッチングすることにより、有機樹脂層(A)中の無機粒子(a1)はエッチングされ、該基板の表面を粗化する第2工程、
を含む、表面粗化方法。
IPC (6件)：
H01L 21/306 ( 200 6.01)
, H01L 21/308 ( 200 6.01)
, H01L 33/22 ( 201 0.01)
, H01L 31/0236 ( 200 6.01)
, H05B 33/02 ( 200 6.01)
, H05B 33/10 ( 200 6.01)
H01L 21/306 D
, H01L 21/308 E
, H01L 33/22
, H01L 31/04 280
, H05B 33/02
, H05B 33/10
