特許
J-GLOBAL ID：202103011176857172
質量流量制御装置、及び流量計の診断方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
特許業務法人プロスペック特許事務所
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2017-543183
特許番号：特許第6828687号
出願日： 2016年09月21日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 流体の流路に介装された差圧発生手段の上流側における前記流体の圧力である第1圧力の値及び前記差圧発生手段の下流側における前記流体の圧力である第2圧力の値に基づいて前記流体の流量を測定するように構成された流量計と、
前記流体の流量を制御するように構成された流量制御弁と、
前記流量計によって測定された前記流体の流量である測定流量が前記流体の流量の目標値である設定流量と一致するように前記流量制御弁に制御信号を出力するように構成された制御手段と、
を有する質量流量制御装置であって、
前記流量制御弁が閉じた状態から開いた状態に変化して流量の制御が開始されたときから前記測定流量が安定するまでの期間における前記第2圧力の値である開弁時圧力値及び前記流量制御弁が開いた状態から閉じた状態に変化して流量の制御が停止されたときから前記測定流量がゼロになるまでの期間における前記第2圧力の値である閉弁時圧力値の両方又はいずれか一方を記録するように構成された記録手段と、
前記開弁時圧力値及び前記閉弁時圧力値の両方又はいずれか一方に基づいて取得される管理値である測定管理値と前記流量計に異常が発生していないときの前記管理値である初期管理値との差の絶対値が所定の閾値を超える場合に前記流量計に異常が発生したと診断するように構成された診断手段と、
をさらに有することを特徴とする質量流量制御装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
引用特許：
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