光電変換素子、光電変換素子の製造方法および固体撮像素子

発明者： , , , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (6件)：及川周 , 高田尚幸 , 松本裕幸 , 木下郁一郎 , 志賀正武 , 高橋詔男
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-134539
公開番号（公開出願番号）：特開2018-006656
特許番号：特許第6820163号
出願日： 2016年07月06日
公開日（公表日）： 2018年01月11日
請求項（抜粋）：

【請求項1】接合膜と、前記接合膜上に形成された結晶セレン膜と、前記結晶セレン膜上に形成され、モリブデン単体からなる金属膜とを有し、前記接合膜は、前記接合膜の下層と前記結晶セレン膜との接着力を向上させる機能を有し、前記結晶セレン膜は、厚みが0.1〜5μmであり、表面の平均面粗さが5nm以下であり、前記金属膜の膜厚が20nm以下であり、前記金属膜側から前記結晶セレン膜に光を入射する光電変換膜を備えることを特徴とする光電変換素子。

IPC (1件)：