特許
J-GLOBAL ID：202103012872872263
元素マップの生成方法および表面分析装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
布施 行夫
, 大渕 美千栄
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-189983
公開番号（公開出願番号）：特開2020-060381
特許番号：特許第6808700号
出願日： 2018年10月05日
公開日（公表日）： 2020年04月16日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 一次線を試料上で走査して、前記試料から放出された信号を分光器で分光し、分光された前記信号を、互いに異なるエネルギーの前記信号を検出可能な複数のチャンネルを有する検出器で検出して、元素マップを取得する表面分析装置における元素マップの生成方法であって、
元素濃度が一様な標準試料上で前記一次線を走査して前記チャンネルごとに補正用チャンネル像を生成し、複数の前記補正用チャンネル像を取得する工程と、
複数の前記補正用チャンネル像の各々において、前記補正用チャンネル像の画素ごとに、当該画素の輝度値に基づいて補正情報を生成する工程と、
分析対象の試料上で前記一次線を走査して、前記チャンネルごとに分析用チャンネル像を生成して、複数の前記分析用チャンネル像を取得する工程と、
複数の前記分析用チャンネル像の各々において、前記分析用チャンネル像を構成する画素の輝度値を、前記補正情報に基づいて補正する工程と、
補正された複数の前記分析用チャンネル像に基づいて、前記分析対象の試料の前記元素マップを生成する工程と、
を含む、元素マップの生成方法。
IPC (3件)：
G01N 23/2276 ( 201 8.01)
, G01N 23/2273 ( 201 8.01)
, H01J 37/22 ( 200 6.01)
G01N 23/227
, H01J 37/22 502 H
