特許

J-GLOBAL ID：202103013340737755

研磨用濡れ剤及び研磨液組成物

発明者： 竹本 貴之 ,  斎藤 直彦 ,  柴田 晃嗣 ,  河合 道弘
出願人/特許権者： 東亞合成株式会社 ,  株式会社フジミインコーポレーテッド
代理人 (1件)： 特許業務法人快友国際特許事務所
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2017-526203
特許番号：特許第6797796号
出願日： 2016年04月19日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 主鎖部分が炭素-炭素結合のみからなる繰り返し単位により構成され、重量平均分子量(Mw)/数平均分子量(Mn)で表される分散度(PDI)が1.44以下であり、前記重量平均分子量(Mw)が80,000以上347,000以下であり、前記繰り返し単位は、N-(メタ)アクリロイルモルホリンに由来する構造単位を含む水溶性重合体を含む研磨用濡れ剤。

IPC (3件)：

H01L 21/304 ( 200 6.01) ,  B24B 37/00 ( 201 2.01) ,  C09K 3/14 ( 200 6.01)

FI (4件)：

H01L 21/304 622 C ,  H01L 21/304 622 D ,  B24B 37/00 H ,  C09K 3/14 550 Z

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 研磨用組成物およびその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2013-204467   出願人：株式会社フジミインコーポレーテッド