特許
J-GLOBAL ID：202103013975349476
振動片の製造方法、振動片、振動子、電子機器および移動体
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
増田 達哉
, 朝比 一夫
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-255558
公開番号（公開出願番号）：特開2018-105826
特許番号：特許第6834480号
出願日： 2016年12月28日
公開日（公表日）： 2018年07月05日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 基部と、前記基部から延出し、貫通孔が設けられている振動腕と、を備え、前記振動腕の延出方向に垂直な断面において、前記振動腕の壁部が、前記貫通孔の貫通方向である壁高さ方向の中央を含む位置に、前記壁高さ方向に直交する方向の厚みである壁厚みが前記壁高さ方向の両端部での壁厚みのいずれよりも厚い凸状部を有し、前記凸状部が前記貫通孔に臨む内面および前記内面と対向し前記貫通孔に臨まない外面の少なくとも一方に設けられている、圧電体を準備する工程と、
前記壁高さ方向において、前記凸状部および前記凸状部の両側に広がるように前記内面および前記外面の少なくとも一方に導電膜を形成する工程と、
前記導電膜上にフォトレジスト膜を形成する工程と、
前記フォトレジスト膜の前記凸状部上に位置する部分の少なくとも一部を露光および現像により除去して開口を形成する工程と、
前記導電膜の前記開口から露出する部分をエッチングにより除去し、前記凸状部上で前記壁高さ方向の一方側と他方側とに分割された電極を形成する工程と、を有することを特徴とする振動片の製造方法。
IPC (7件)：
G01C 19/5628 ( 201 2.01)
, H01L 41/113 ( 200 6.01)
, H01L 41/29 ( 201 3.01)
, H01L 41/047 ( 200 6.01)
, H01L 41/332 ( 201 3.01)
, H03H 9/19 ( 200 6.01)
, H03H 3/02 ( 200 6.01)
G01C 19/562
, H01L 41/113
, H01L 41/29
, H01L 41/047
, H01L 41/332
, H03H 9/19 A
, H03H 3/02 B
出願人引用 (7件)
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審査官引用 (7件)
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