吸着ポンプ

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：徳田佳昭 , 村山正人
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2017-515368
特許番号：特許第6819577号
出願日： 2016年03月25日
請求項（抜粋）：

【請求項1】試料の流入口と排出口とが設けられた筐体と、少なくとも一部が前記筐体の内部に配置された可動部と、前記可動部に設けられた吸着部と、を備え、前記可動部は、翼を有し回転動作するインペラ、または、変形動作することにより前記筐体内の容積を変化させるダイアフラムである、吸着ポンプ。

IPC (2件)：