特許
J-GLOBAL ID：202103015657700426
荷電粒子ビーム装置及びその装置を動作させるシステム及び方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (4件)：
稲葉 良幸
, 大貫 敏史
, 江口 昭彦
, 内藤 和彦
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2020-512575
特許番号：特許第6972312号
出願日： 2018年09月14日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 サンプル上でビームレットのアレイを形成及びスキャンするように構成されたビームレット形成ユニットであって、前記ビームレットのアレイの第1の部分は焦点面上に合焦され、前記ビームレットのアレイの第2の部分は前記焦点面に対してデフォーカスレベルを有する少なくとも1つのビームレットを有する、ビームレット形成ユニットと、
前記ビームレットのアレイによって形成された前記サンプルの画像を検出するように構成されたディテクタと、
前記検出された画像に基づいて前記焦点面と前記サンプルとの間の離間のレベルを推定し、その後、前記推定されたレベルに基づいて前記離間のレベルを減少させるように構成されたプロセッサと、
を備える、荷電粒子ビーム装置。
IPC (4件)：
H01J 37/21 ( 200 6.01)
, H01J 37/244 ( 200 6.01)
, H01J 37/28 ( 200 6.01)
, H01J 37/22 ( 200 6.01)
H01J 37/21 B
, H01J 37/244
, H01J 37/28 B
, H01J 37/22 502 H
