特許
J-GLOBAL ID：202103016444206467
圧電センサ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
特許業務法人弥生特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2019-217156
公開番号（公開出願番号）：特開2021-085848
出願日： 2019年11月29日
公開日（公表日）： 2021年06月03日
要約：
【課題】 圧電片の一面側の励振電極の上層側に、フッ素シランカップリング剤の被覆層を形成することにより、前記圧電片の一面側の状態の変化について、安定した計測を行うこと。【解決手段】 発振回路と接続される励振電極が、圧電片を挟んだ一面側と他面側とに形成され、圧電片の一面側の状態の変化を発振周波数の変化として検知する圧電センサにおいて、前記圧電片の一面側の励振電極の上層側に、フッ素シランカップリング剤の被覆層を形成しているので、前記圧電片の一面側の状態の変化について、安定した計測を行うことができる。【選択図】図6
請求項（抜粋）：
発振回路と接続される励振電極が、圧電片を挟んだ一面側と他面側とに形成され、前記圧電片の一面側の状態の変化を発振周波数の周波数変化として検知する圧電振動子を備え、
前記一面側の励振電極の上層側には、フッ素シランカップリング剤の被覆層が形成されていることを特徴とする圧電センサ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (2件)：
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