特許

J-GLOBAL ID：202103016767286168

縦型輸送フィン電界効果トランジスタを形成する方法および縦型輸送フィン電界効果トランジスタ

発明者： チャン、チェン ,  山下 典洪 ,  ヤン、チュン、ウィン
出願人/特許権者： インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレーション
代理人 (3件)： 上野 剛史 ,  太佐 種一 ,  市位 嘉宏
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2020-521347
公開番号（公開出願番号）：特表2021-501463
出願日： 2018年10月23日
公開日（公表日）： 2021年01月14日
要約：

【課題】縦型輸送フィン電界効果トランジスタを形成する方法を提供する。【解決手段】方法は、基板上にドープ層を形成することと、ドープ層上に多層フィンを形成することと、を含み、多層フィンは、下部トリム層部分、上部トリム層部分、および上部および下部トリム層部分の間のフィン・チャネル部分を含む。下部トリム層部分の一部が除去されて下部トリム層ポストが形成され、上部トリム層部分の一部が除去されて上部トリム層ポストが形成される。上部リセス・フィラーが上部トリム層ポストに隣接して形成され、下部リセス・フィラーが下部トリム層ポストに隣接して形成される。フィン・チャネル部分の一部が除去されて、上部トリム層ポストと下部トリム層ポストとの間にフィン・チャネル・ポストが形成される。【選択図】図20

請求項（抜粋）：

縦型輸送フィン電界効果トランジスタを形成する方法であって、 基板上にドープ層を形成することと、 前記ドープ層上に多層フィンを形成することであって、前記多層フィンは、下部トリム層部分、上部トリム層部分、および前記下部トリム層部分と前記上部トリム層部分との間のフィン・チャネル部分を含む、前記形成することと、 前記下部トリム層部分の一部を除去して、下部トリム層ポストを形成することと、 前記上部トリム層部分の一部を除去して、上部トリム層ポストを形成することと、 前記上部トリム層ポストに隣接する上部リセス・フィラー、および前記下部トリム層ポストに隣接する下部リセス・フィラーを形成することと、 前記フィン・チャネル部分の一部を除去して、前記上部トリム層ポストと下部トリム層ポストとの間にフィン・チャネル・ポストを形成することと、 を含む、方法。

IPC (5件)：

H01L 21/336 ,  H01L 29/78 ,  H01L 29/786 ,  H01L 21/316 ,  H01L 21/283

FI (9件)：

H01L29/78 301Y ,  H01L29/78 652K ,  H01L29/78 301X ,  H01L29/78 301G ,  H01L29/78 617T ,  H01L29/78 616T ,  H01L29/78 618C ,  H01L21/316 X ,  H01L21/283 C

Fターム (93件)：

4M104AA01 ,  4M104AA02 ,  4M104AA03 ,  4M104AA04 ,  4M104AA05 ,  4M104BB29 ,  4M104BB30 ,  4M104BB31 ,  4M104BB32 ,  4M104BB33 ,  4M104EE03 ,  4M104EE06 ,  4M104EE14 ,  4M104EE15 ,  4M104EE16 ,  4M104EE17 ,  4M104EE18 ,  4M104GG09 ,  4M104GG10 ,  4M104GG14 ,  5F058BA09 ,  5F058BC03 ,  5F058BC04 ,  5F058BF02 ,  5F058BJ10 ,  5F110AA04 ,  5F110CC09 ,  5F110DD01 ,  5F110DD02 ,  5F110DD04 ,  5F110DD05 ,  5F110DD13 ,  5F110EE01 ,  5F110EE04 ,  5F110EE06 ,  5F110EE42 ,  5F110EE45 ,  5F110FF01 ,  5F110FF27 ,  5F110FF30 ,  5F110FF36 ,  5F110GG01 ,  5F110GG02 ,  5F110GG03 ,  5F110GG04 ,  5F110GG12 ,  5F110GG22 ,  5F110GG28 ,  5F110HJ13 ,  5F110HK08 ,  5F110HK09 ,  5F110HK13 ,  5F110HK32 ,  5F110HM04 ,  5F110HM12 ,  5F110NN22 ,  5F110NN23 ,  5F110NN27 ,  5F110NN62 ,  5F110QQ11 ,  5F110QQ19 ,  5F140AC36 ,  5F140BA02 ,  5F140BA03 ,  5F140BA05 ,  5F140BA06 ,  5F140BA07 ,  5F140BA10 ,  5F140BA16 ,  5F140BB04 ,  5F140BC12 ,  5F140BD11 ,  5F140BE09 ,  5F140BE10 ,  5F140BE14 ,  5F140BE16 ,  5F140BF06 ,  5F140BF10 ,  5F140BG27 ,  5F140BG28 ,  5F140BH04 ,  5F140BH13 ,  5F140BH27 ,  5F140BH30 ,  5F140BK13 ,  5F140BK17 ,  5F140BK23 ,  5F140CB01 ,  5F140CB04 ,  5F140CC02 ,  5F140CC03 ,  5F140CC10 ,  5F140CE07