軟質シート上にフィルムを製造するための方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：中村行孝 , 朝倉悟 , 反町洋 , 鈴木啓靖
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2020-523984
公開番号（公開出願番号）：特表2021-501475
出願日： 2018年10月31日
公開日（公表日）： 2021年01月14日
要約：

本発明は、軟質シート(20)上にフィルム(12)、特に単結晶を製造するための方法であって、下記の工程:ドナー基板(10)を準備する工程、ドナー基板(10)内に脆化区域(11)を形成し、フィルム(12)の範囲を定める工程、フィルム(12)表面における成膜により軟質シート(20)を形成する工程、ドナー基板(10)を脆化区域(11)に沿って分離し、フィルム(12)を軟質シート(20)上に転写する工程を含んでなることを特徴とする方法に関する。

請求項（抜粋）：

軟質シート(20)上にフィルム(12)、特に単結晶を製造するための方法であって、下記の工程: ドナー基板(10)を準備する工程、ドナー基板(10)内に脆化区域(11)を形成し、フィルム(12)の範囲を定める工程、フィルム(12)表面における成膜により軟質シート(20)を形成する工程、ドナー基板(10)を脆化区域(11)に沿って分離し、フィルム(12)を軟質シート(20)上に転写する工程を含んでなることを特徴とする、方法。

IPC (1件)：

H01L 21/02

FI (2件)：

H01L21/02 B , H01L21/02 C

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