特許

J-GLOBAL ID：202103017080319763

アークプラズマ蒸着法による多元素ナノ粒子の製造方法

発明者： 今岡 享稔 ,  林 洋子 ,  山元 公寿
出願人/特許権者： 国立大学法人東京工業大学
代理人 (2件)： 特許業務法人牛木国際特許事務所 ,  牛木 護
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2019-194936
公開番号（公開出願番号）：特開2021-066946
出願日： 2019年10月28日
公開日（公表日）： 2021年04月30日
要約：

【課題】粒子サイズの制御や担持量の高いナノ粒子の作製、ナノ粒子における様々な種類の元素の組み合わせ、使用できる担体の種類の幅広さを可能とする、新規な多元素ナノ粒子の製造方法を提供する。【解決手段】多元素ナノ粒子4の製造方法は、各々異なる種類の元素のターゲット16を有する複数のプラズマ発生部1により、同時または順に基材3へアークプラズマ2を蒸着し、前記異なる種類の元素を含むナノ粒子を得ることを特徴としている。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

各々異なる種類の元素のターゲットを同時または順に基材へアークプラズマ蒸着し、前記異なる種類の元素を含むナノ粒子を得る、多元素ナノ粒子の製造方法。

IPC (2件)：

C23C 14/24 ,  B82Y 40/00

FI (3件)：

C23C14/24 F ,  C23C14/24 C ,  B82Y40/00

Fターム (18件)：

4K029AA06 ,  4K029AA24 ,  4K029BA03 ,  4K029BA04 ,  4K029BA05 ,  4K029BA08 ,  4K029BA09 ,  4K029BA11 ,  4K029BA12 ,  4K029BA13 ,  4K029BA15 ,  4K029BA17 ,  4K029BA18 ,  4K029BA35 ,  4K029CA01 ,  4K029DB03 ,  4K029DB14 ,  4K029DB17