特許

J-GLOBAL ID：202103017187703981

マスク自動交換方法およびマスク自動交換システム

発明者： 前田 文隆
出願人/特許権者： 株式会社FUJI
代理人 (1件)： 廣田 昭博
公報種別：再公表公報
出願番号（国際出願番号）：JP2018023402
公開番号（公開出願番号）：WO2019-244265
出願日： 2018年06月20日
公開日（公表日）： 2019年12月26日
要約：

基板グループとマスクとの対応関係に基づくマスク自動交換方法およびマスク自動交換システムであって、その方法は、スクリーン印刷機に対して基板に形成されたパターンのズレ量に基づいて区別された基板グループ毎に基板を搬送する基板搬送工程と、前記基板搬送工程による基板の搬送に伴い基板情報を確認する基板確認工程と、複数の基板グループに対応して用意された複数のマスクから前記基板確認工程の結果に従い該当するマスクを選択するマスク選択工程と、前記複数のマスクを収納するマスク自動交換機から該当するマスクを前記スクリーン印刷機へ送り出すマスク交換工程とを有する。

請求項（抜粋）：

スクリーン印刷機に対して基板に形成されたパターンのズレ量に基づいて区別された基板グループ毎に基板を搬送する基板搬送工程と、 前記基板搬送工程による基板の搬送に伴い基板情報を確認する基板確認工程と、 複数の基板グループに対応して用意された複数のマスクから前記基板確認工程の結果に従い該当するマスクを選択するマスク選択工程と、 前記複数のマスクを収納するマスク自動交換機から該当するマスクを前記スクリーン印刷機へ送り出すマスク交換工程と、 を有するマスク自動交換方法。

IPC (5件)：

B41F 15/12 ,  B41F 15/08 ,  B41F 15/36 ,  B41F 27/12 ,  H05K 3/34

FI (5件)：

B41F15/12 A ,  B41F15/08 303E ,  B41F15/36 A ,  B41F27/12 D ,  H05K3/34 505D

Fターム (13件)：

2C020DA06 ,  2C035AA06 ,  2C035FA22 ,  2C035FA27 ,  2C035FB33 ,  2C035FD01 ,  2C035FE01 ,  5E319AC01 ,  5E319BB05 ,  5E319CD04 ,  5E319CD29 ,  5E319CD60 ,  5E319GG15