検出装置

発明者： , , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (6件)：蔵田昌俊 , 野河信久 , 井上正 , 峰隆司 , 河野直樹 , 金子早苗
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2019-226403
公開番号（公開出願番号）：特開2021-096110
出願日： 2019年12月16日
公開日（公表日）： 2021年06月24日
要約：

【課題】基板の温度を所定の温度に保持することができる検出装置を提供する。【解決手段】実施形態によれば、検出装置は、ステージと、温度制御器と、発生器と、受信器と、プロセッサと、を備える。ステージは、サンプルが添付されている構造体を備える基板を支持する。温度制御器は、前記基板の温度を制御する。発生器は、前記構造体に電磁波を照射する。受信器は、前記構造体からの反射波又は透過波を受信する。プロセッサは、前記温度制御器を用いて前記基板の温度を目標温度に制御し、前記基板の温度が前記目標温度である間において、前記受信器が受信した反射波又は透過波の強度に基づいて被検出物を検出する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

サンプルが添付されている構造体を備える基板を支持するステージと、前記基板の温度を制御する温度制御器と、前記構造体に電磁波を照射する発生器と、前記構造体からの反射波又は透過波を受信する受信器と、前記温度制御器を用いて前記基板の温度を目標温度に制御し、前記基板の温度が前記目標温度である間において、前記受信器が受信した反射波又は透過波の強度に基づいて被検出物を検出する、プロセッサと、を備える検出装置。

IPC (2件)：

G01N 21/17 , G01N 21/47

FI (2件)：

G01N21/17 Z , G01N21/47 Z

Fターム (7件)：

2G059AA02 , 2G059AA10 , 2G059EE01 , 2G059EE02 , 2G059KK01 , 2G059MM09 , 2G059MM10

引用特許：

審査官引用 (4件)

全反射減衰を利用した測定装置及びその測定方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2005-039501 出願人：富士写真フイルム株式会社
表面プラズモン共鳴測定装置およびセンサユニット
公報種別：公開公報出願番号：特願2003-331549 出願人：富士写真フイルム株式会社
多層屈折率測定装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2005-232603 出願人：日本電信電話株式会社

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