特許
J-GLOBAL ID:202103018015855131

フォトンシーブホログラム及び微細光学像投影装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (3件): 木村 満 ,  武山 敦史 ,  森川 泰司
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2019-183428
公開番号(公開出願番号):特開2021-060474
出願日: 2019年10月04日
公開日(公表日): 2021年04月15日
要約:
【課題】対象物に対して正確な微細光学像を容易に投影できるフォトンシーブホログラム及び微細光学像投影装置を提供する。【解決手段】フォトンシーブホログラム10は、フォトンシーブを同一平面上に少なくとも二つ以上組み合わせたパターンで複数の凹部、凸部又は貫通孔が配置された微細構造体を備える。微細構造体は、電磁波を遮断する遮光膜11と、遮光膜11に形成され、電磁波を通過させることが可能な複数のピンホール11aと、を備えてもよい。【選択図】図1
請求項(抜粋):
フォトンシーブを同一平面上に少なくとも二つ以上組み合わせたパターンで複数の凹部、凸部又は貫通孔が配置された微細構造体を備えるフォトンシーブホログラム。
IPC (2件):
G03F 7/20 ,  G03H 1/20
FI (3件):
G03F7/20 501 ,  G03F7/20 521 ,  G03H1/20
Fターム (8件):
2H197AA50 ,  2H197BA11 ,  2H197CA07 ,  2H197JA05 ,  2K008AA00 ,  2K008EE01 ,  2K008EE04 ,  2K008HH01

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