特許
J-GLOBAL ID:202103018426333020
板ガラス洗浄装置
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
特許業務法人矢野内外国特許事務所
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願2016-162193
公開番号(公開出願番号):特開2018-030058
特許番号:特許第6809038号
出願日: 2016年08月22日
公開日(公表日): 2018年03月01日
請求項(抜粋):
【請求項1】 板ガラスのガラス面を洗浄する板ガラス洗浄装置であって、
直列状に配置された複数の洗浄部材と、
前記複数の洗浄部材の各々を支持する回転軸と、
前記回転軸の各々に設けられる平歯車と、
前記回転軸の少なくとも1つを駆動する回転駆動手段と、を備え、
前記平歯車は、金属製の平歯車と樹脂製の平歯車とが交互に噛み合うように複数かつ直列状に配置されたギア列を構成する、
ことを特徴とする板ガラス洗浄装置。
IPC (3件):
B08B 1/04 ( 200 6.01)
, B08B 1/02 ( 200 6.01)
, C03C 23/00 ( 200 6.01)
FI (3件):
B08B 1/04
, B08B 1/02
, C03C 23/00 A
引用特許:
出願人引用 (2件)
-
歯車伝動装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願2003-043503
出願人:本田技研工業株式会社
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洗浄装置及び半導体装置の製造方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願2003-369069
出願人:セイコーエプソン株式会社
審査官引用 (2件)
-
歯車伝動装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願2003-043503
出願人:本田技研工業株式会社
-
洗浄装置及び半導体装置の製造方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願2003-369069
出願人:セイコーエプソン株式会社
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