特許

J-GLOBAL ID：202103019087942701

半導体装置及びその製造方法、並びに電子機器

発明者： 竹内 克彦 ,  高橋 圭太
出願人/特許権者： ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社
代理人 (3件)： 田中 秀▲てつ▼ ,  小林 龍 ,  森 哲也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2019-230359
公開番号（公開出願番号）：特開2021-100028
出願日： 2019年12月20日
公開日（公表日）： 2021年07月01日
要約：

【課題】平面サイズが異なる電界効果トランジスタの各々のオン抵抗を低減する。【解決手段】半導体装置は、半導体基体に搭載された第1及び第2電界効果トランジスタと半導体基体の主面上に設けられた絶縁層とを備えている。そして、第1及び第2電界効果トランジスタのそれぞれは、半導体基体の主面上に互いに離間して設けられた一対の主電極と、一対の主電極間において絶縁層に設けられた空洞部と、絶縁層上に位置する頭部及び頭部から絶縁層を貫通して空洞部に突出する胴部を有し、かつ頭部が胴部よりも幅広のゲート電極とを備えている。そして、第2電界効果トランジスタの空洞部の幅は、第1電界効果トランジスタの空洞部の幅と異なる。【選択図】図6

請求項（抜粋）：

半導体基体に搭載された第1電界効果トランジスタ及び第2電界効果トランジスタと、前記半導体基体の主面上に設けられた絶縁層と、を備え、 前記第1電界効果トランジスタ及び前記第2電界効果トランジスタのそれぞれは、 前記半導体基体の主面上に互いに離間して設けられた一対の主電極と、 前記一対の主電極間において前記絶縁層に設けられた空洞部と、 前記絶縁層上に位置する頭部及び前記頭部から前記絶縁層を貫通して前記空洞部に突出する胴部を有し、かつ前記頭部が前記胴部よりも幅広のゲート電極と、を備え、 前記第2電界効果トランジスタの前記空洞部の幅は、前記第1電界効果トランジスタの前記空洞部の幅と異なる半導体装置。

IPC (13件)：

H01L 21/338 ,  H01L 29/812 ,  H01L 29/778 ,  H01L 21/28 ,  H01L 29/423 ,  H01L 29/49 ,  H01L 29/417 ,  H01L 21/768 ,  H01L 23/532 ,  H01L 21/336 ,  H01L 29/78 ,  H01L 21/823 ,  H01L 27/088

FI (11件)：

H01L29/80 E ,  H01L29/80 H ,  H01L29/80 F ,  H01L21/28 301B ,  H01L29/58 G ,  H01L29/50 M ,  H01L21/90 N ,  H01L29/78 301N ,  H01L29/78 301G ,  H01L27/088 C ,  H01L27/088 331A

Fターム (104件)：

4M104AA04 ,  4M104AA07 ,  4M104BB05 ,  4M104BB14 ,  4M104CC01 ,  4M104CC05 ,  4M104DD08 ,  4M104DD09 ,  4M104DD10 ,  4M104DD11 ,  4M104DD15 ,  4M104DD16 ,  4M104DD37 ,  4M104DD43 ,  4M104DD65 ,  4M104DD68 ,  4M104EE03 ,  4M104EE06 ,  4M104EE12 ,  4M104EE15 ,  4M104EE16 ,  4M104EE17 ,  4M104FF07 ,  4M104FF13 ,  5F033GG01 ,  5F033HH07 ,  5F033HH13 ,  5F033MM18 ,  5F033PP06 ,  5F033PP15 ,  5F033QQ09 ,  5F033QQ10 ,  5F033QQ11 ,  5F033QQ19 ,  5F033QQ25 ,  5F033QQ33 ,  5F033QQ35 ,  5F033QQ41 ,  5F033QQ74 ,  5F033RR03 ,  5F033RR04 ,  5F033RR30 ,  5F033SS11 ,  5F033TT02 ,  5F033UU03 ,  5F033VV06 ,  5F033XX24 ,  5F048AA09 ,  5F048AC01 ,  5F048BA15 ,  5F048BA16 ,  5F048BB03 ,  5F048BB11 ,  5F048BB12 ,  5F048BC03 ,  5F048BD10 ,  5F048BF02 ,  5F048BF07 ,  5F048BH02 ,  5F102FA02 ,  5F102GA01 ,  5F102GB01 ,  5F102GC01 ,  5F102GD10 ,  5F102GJ02 ,  5F102GJ03 ,  5F102GJ04 ,  5F102GJ10 ,  5F102GK04 ,  5F102GK08 ,  5F102GL04 ,  5F102GM04 ,  5F102GQ01 ,  5F102GS04 ,  5F102HC10 ,  5F140AA01 ,  5F140AA11 ,  5F140AB01 ,  5F140BA01 ,  5F140BA02 ,  5F140BA06 ,  5F140BA09 ,  5F140BA16 ,  5F140BA17 ,  5F140BB18 ,  5F140BC12 ,  5F140BD01 ,  5F140BD11 ,  5F140BF05 ,  5F140BF11 ,  5F140BF15 ,  5F140BF42 ,  5F140BH47 ,  5F140BJ05 ,  5F140BJ11 ,  5F140BJ15 ,  5F140BK30 ,  5F140CB02 ,  5F140CC01 ,  5F140CC02 ,  5F140CC03 ,  5F140CC12 ,  5F140CC19 ,  5F140CE02