特許

J-GLOBAL ID：202103019231221577

可動マスの電圧検出機能を備えたMEMSセンサ

発明者： ジャンバスティアニ アドルフォ ,  ルオヒオ ヤーッコ
出願人/特許権者： パナソニック株式会社
代理人 (1件)： 特許業務法人北斗特許事務所
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-530131
特許番号：特許第6800515号
出願日： 2016年12月09日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 微小電気機械センサであって、 第1、第2のアンカー点のみからなる2つのアンカー点と、 懸架式ばねマスシステムであって、 複数の可動マスと、 前記複数の可動マスを互いに結合し、前記複数の可動マスを前記第1、第2のアンカー点から懸架する複数のばねであって、前記複数の可動マスと前記第1、第2のアンカー点を電気的に接続する複数のばねと を含む懸架式ばねマスシステムと、 前記第1のアンカー点を介して前記懸架式ばねマスシステムにシステム電圧を印加するように結合された第1の電圧源と、 前記第2のアンカー点に結合されて、前記第2のアンカー点の電圧を測定電圧として測定する測定ノードと、 前記システム電圧及び前記測定電圧に基づいて前記懸架式ばねマスシステムの誤りを識別するように構成された処理回路とを含む、 微小電気機械センサ。

IPC (4件)：

G01C 19/5747 ( 201 2.01) ,  G01C 19/5726 ( 201 2.01) ,  H01L 29/84 ( 200 6.01) ,  B81B 3/00 ( 200 6.01)

FI (4件)：

G01C 19/574 ,  G01C 19/572 ,  H01L 29/84 A ,  B81B 3/00

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 静電容量式物理量センサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2013-103188   出願人：株式会社デンソー
• 静電容量式センサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2009-249424   出願人：日立オートモティブシステムズ株式会社

審査官引用 (2件)

• 静電容量式物理量センサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2013-103188   出願人：株式会社デンソー
• 静電容量式センサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2009-249424   出願人：日立オートモティブシステムズ株式会社