特許

J-GLOBAL ID：202103019272917187

試料測定装置、プログラムおよび測定パラメータ設定支援装置

発明者： 野田 陽
出願人/特許権者： 株式会社島津製作所
代理人 (1件)： 宮園 博一
公報種別：再公表公報
出願番号（国際出願番号）：JP2018044061
公開番号（公開出願番号）：WO2020-110268
出願日： 2018年11月29日
公開日（公表日）： 2020年06月04日
要約：

この試料測定装置は、試料の測定を行う測定部(1)と、測定部による測定結果を分析する制御部(2)と、を備える。制御部(2)は、測定パラメータの条件が互いに異なる複数の測定条件による測定結果に基づいてモデル式を用いて他の測定条件における測定結果を推定して取得するとともに、推定した測定結果に基づいて測定パラメータに対する測定品質指標の分布を推定するように構成されている。

請求項（抜粋）：

試料の測定を行う測定部と、 前記測定部による測定結果を分析する制御部と、を備え、 前記制御部は、測定パラメータの条件が互いに異なる複数の測定条件による測定結果に基づいてモデル式を用いて他の測定条件における測定結果を推定して取得するとともに、推定した測定結果に基づいて測定パラメータに対する測定品質指標の分布を推定するように構成されている、試料測定装置。

IPC (3件)：

G01N 30/86 ,  G01N 30/02 ,  G01N 30/52

FI (3件)：

G01N30/86 R ,  G01N30/02 Z ,  G01N30/52