特許
J-GLOBAL ID：202103019661314188

プローバ及びプローブ検査方法

発明者：
内田 悟史

内田 悟史 について


出願人/特許権者：
株式会社東京精密

株式会社東京精密 について


代理人 (1件)： 松浦 憲三
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-204493
公開番号（公開出願番号）：特開2018-067602
特許番号：特許第6801166号
出願日： 2016年10月18日
公開日（公表日）： 2018年04月26日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 ウエハを保持するウエハチャックと、 前記ウエハチャックに対向する面に複数のプローブを有するプローブカードと、 前記ウエハチャックと前記プローブカードとの間に内部空間を形成する環状のシール部材と、 前記ウエハチャックを着脱自在に固定するウエハチャック固定部を有し、前記ウエハチャック固定部に固定された前記ウエハチャックを昇降させる機械的昇降手段と、 前記内部空間に負圧を付与することにより前記ウエハチャックを前記プローブカード側に吸着保持する負圧付与手段と、 前記内部空間に大気圧よりも高い正圧を付与することにより前記ウエハチャックをプローブカード側からリリースする正圧付与手段と、 前記プローブカード側から前記ウエハチャックが目標リリース速度でリリースされるように、前記目標リリース速度に基づいて前記内部空間に付与される正圧を制御する正圧制御手段と、 を備えるプローバ。
IPC (2件)：
H01L 21/66 ( 200 6.01) ,  G01R 31/28 ( 200 6.01)
FI (2件)：
H01L 21/66 B ,  G01R 31/28 K
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (4件)
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