特許
J-GLOBAL ID:202103020141445580
黒リン結晶及びその製造方法、光電検出器、二次元黒リンPN接合及びその製造方法並びに使用
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (4件):
木村 満
, 森川 泰司
, 桜田 圭
, 美恵 英樹
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願2018-551438
特許番号:特許第6810753号
出願日: 2016年12月28日
請求項(抜粋):
【請求項1】平均が1.65×103〜15.33×103mA/Wの光電応答率を有する黒リン結晶であって、
空間点群Cmca(no.64)、セルパラメータa=3.2〜3.4Å、b=10.4〜10.6Å、c=4.3〜4.5Å、層間隔4〜6Åであり、単結晶であり、
前記黒リン結晶のXRD特徴スペクトルは、17.1°、26.6°、34.4°、40.2°、52.5°の5つの2θピークを含み、
前記黒リン結晶内のドーピング元素は、マグネシウム、硫黄、ヒ素及びセレンから選択されたいずれか1種又は2種以上の組合せを含み、
前記黒リン結晶のXPSスペクトルは、マグネシウム1290〜1320eV、硫黄160〜172eV、ヒ素40〜50eV及びセレン53〜58eVの特徴ピークの内の少なくとも1つを含む、
ことを特徴とする黒リン結晶。
IPC (8件):
C30B 29/02 ( 200 6.01)
, H01L 29/861 ( 200 6.01)
, H01L 29/868 ( 200 6.01)
, H01L 29/24 ( 200 6.01)
, H01L 21/329 ( 200 6.01)
, C01B 25/02 ( 200 6.01)
, C30B 1/02 ( 200 6.01)
, H01L 31/068 ( 201 2.01)
FI (7件):
C30B 29/02
, H01L 29/91 F
, H01L 29/24
, H01L 29/91 A
, C01B 25/02 Z
, C30B 1/02
, H01L 31/06 300
引用特許:
引用文献:
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