特許
J-GLOBAL ID：202103021183064779
成膜装置および成膜方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
特許業務法人高橋・林アンドパートナーズ
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-135675
公開番号（公開出願番号）：特開2018-003137
特許番号：特許第6823954号
出願日： 2016年07月08日
公開日（公表日）： 2018年01月11日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 蒸着源と、
前記蒸着源と接続され、複数の開口部を備えるヘッドと、
前記ヘッドに巻き付けられたヒータと、を有し、
前記ヒータは、前記蒸着源の側に位置する第1領域と、前記第1領域の前記蒸着源とは反対の側に位置する第2領域とを有し、
前記第1領域は、前記複数の開口部のうち最も前記蒸着源に近い2つの開口部の中心を結ぶ線上で連続的に前記ヘッドに接する第1の幅を有し、
前記第2領域は、前記複数の開口部のうち最も前記蒸着源から遠い2つの開口部の中心を結ぶ線上で連続的に前記ヘッドに接する第2の幅を有し、
前記第2の幅は、前記第1の幅よりも大きく、
前記ヒータは電熱線を含み、
前記電熱線は、前記ヘッドの長手方向である第1の方向に延在し、かつ前記第1の方向と交差する第2の方向に複数本並んでいる部分を有し、
前記第1領域における前記第1の幅を横切るように並んでいる前記電熱線の第1の本数は、前記第2領域における前記第2の幅を横切るように並んでいる前記電熱線の第2の本数よりも少ないことを特徴とする成膜装置。
IPC (3件)：
C23C 14/24 ( 200 6.01)
, H01L 51/50 ( 200 6.01)
, H05B 33/10 ( 200 6.01)
C23C 14/24 B
, H05B 33/14 A
, H05B 33/10
