気化装置および流体を気化させる方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：小俣純一 , 三藤誠司
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-517641
特許番号：特許第6806149号
出願日： 2016年12月19日
請求項（抜粋）：

【請求項1】気化装置であって、気化可能な流体を有する流体供給部と、前記流体供給部からの流体を受け取るための前記流体供給部に流体連通している入口と、流体流路と、前記流体流路内に位置し且つ電圧パルスが印加される抵抗ヒーターと、出口と、を有する気泡ポンプであって、前記流体供給部から前記気泡ポンプの前記出口へと流体を圧送するように作動する気泡ポンプと、前記気泡ポンプの前記出口の隣に位置する流体気化ヒーターであって、前記気泡ポンプの前記出口からの流体を受け取るため、および受け取った流体を加熱しかつ前記加熱により気化させるための、被加熱流体接触面を有する流体気化ヒーターと、を備え、前記気泡ポンプと前記流体気化ヒーターとは、共通の基板上に作製されている気化装置。

IPC (3件)：