研課題
J-GLOBAL ID:202104000001831547  研究課題コード:09159280

境界収束型マイクロ波ランチャーを利用した高密度近接プラズマによる三次元・超高速DLC成膜装置の開発

実施期間:2010 - 2010
実施機関 (1件):
研究責任者: ( , 大学院工学研究科, 准教授 )
研究制度:
研究所管機関:
国立研究開発法人科学技術振興機構

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