研課題
J-GLOBAL ID:202104000012334391  研究課題コード:09157886

強誘電体1次元ナノ構造の作製技術の開発と新機能応用

実施期間:2009 - 2009
実施機関 (1件):
研究代表者: ( , 大学院工学研究科, 教授 )
研究概要:
強誘電体(PbTiO3やPZT)1次元(1D)ナノ構造(ナノロッド、ナノチューブ等)の新機能創成と応用を目的に、ZnOナノロッドをテンプレートとし被覆性の優れた、MOCVD法により強誘電体1Dナノ構造を基板上に作製する技術を始めて開発した、これら高品質1Dナノ構造の圧電性・強誘電性を詳しく調べ、その特異性に由来する新機能を創成し、超高集積FeRAM用ナノキャパシタ、ナノ強誘電体FET、圧電振動発電デバイスなどの新規デバイスの開発を目指す。
タイトルに関連する用語 (6件):
タイトルに関連する用語
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研究制度:
研究所管機関:
国立研究開発法人科学技術振興機構

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