研課題
J-GLOBAL ID:202104000024526210  研究課題コード:10101504

浮遊型プローブによるプロセスプラズマ分析装置の開発

体系的課題番号:JPMJSN10A4
実施期間:2010 - 2011
実施機関 (1件):
研究責任者: ( , 情報理工学部, 教授 )
DOI: https://doi.org/10.52926/JPMJSN10A4
研究概要:
本課題では、集積回路(LSI)プロセスの中心技術である半導体製造プラズマ装置、ロケットスラスタープラズマさらには生物生体プロセスプラズマなど広範な応用プラズマの分析技術として、電子放出可能な浮遊型プローブ法を提案し、その原理特許を取得済みの技術をもとに、プラズマ電子エネルギー分析、電子・イオン密度解析、プラズマポテンシャル分布などの総合的分析を可能とするプラズマ分析装置プロトタイプの開発を目指します。
研究制度:
研究所管機関:
国立研究開発法人科学技術振興機構

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