研課題
J-GLOBAL ID:202104000303729059  研究課題コード:17940724

多周期積層厚膜の微細構造制御に向けた囲い込み加熱機構の開発

体系的課題番号:JPMJTM17DD
実施期間:2017 -
実施機関 (1件):
研究代表者: ( , 工学研究科, 教授 )
DOI: https://doi.org/10.52926/JPMJTM17DD
タイトルに関連する用語 (4件):
タイトルに関連する用語
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研究制度:
研究所管機関:
国立研究開発法人科学技術振興機構

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