極小径光ファイバプローブを用いた微細三次元形状測定器の開発

実施期間：2008 - 2008
実施機関 (1件)：
研究代表者： ( )
研究概要：

近年の加工技術の進歩に伴い、微細金型や微細ノズル、マイクロ部品などの微細形状を測定する重要性は増加している。高アスペクト比を持つ微細形状を精度よく測定するためには、測定力が低く小径で高アスペクト比のプローブが必要である。そこで、微細形状の測定が可能なプローブとして、極小径光ファイバの接触式プローブを用いることにより、低測定力・検出機構が簡便で微細形状を高分解能で測定可能な装置の開発を目指す。

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研究所管機関：

国立研究開発法人科学技術振興機構

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