研課題
J-GLOBAL ID:202104000363711329  研究課題コード:15663091

温度補償素子集積型高温小型オイルレス圧力センサの作製

体系的課題番号:JPMJTM15EL
実施期間:2015 - 2016
実施機関 (1件):
研究責任者: ( , 制御・電子材料科, 主幹研究員 )
DOI: https://doi.org/10.52926/JPMJTM15EL
研究制度:
研究所管機関:
国立研究開発法人科学技術振興機構

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