ナノ厚さ薄膜の高分解能可視化法

実施期間：2008 - 2008
実施機関 (1件)：
研究代表者： ( , 大学院工学研究科, 教授 )
研究概要：

フォトレジスト、酸化シリコン絶縁膜などナノ厚さの液体・固体薄膜の形成・分布制御は、マイクロ・ナノテクノロジーのキーとなる技術である。そして、この形成・分布制御のための有効な評価法として、ナノ薄膜の分布をリアルタイムに動的観測する手段が強く求められている。この観測法には、高分解能でかつ非接触な動的観測が要請されるが、従来技術ではこれらを満たすものがなく、面内分解能(解像度)としては高々数μm程度であった。本課題は、考案したナノ薄膜を直接可視化する光学的方法により、動的でかつ高分解能(サブμm)な観測法を確立しようとするものである。

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研究制度：＞＞＞＞
研究所管機関：

国立研究開発法人科学技術振興機構

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