研課題
J-GLOBAL ID:202104000680758195  研究課題コード:08003235

ダイヤモンド薄膜の環境制御化学研磨技術の開発

実施期間:2007 - 2007
実施機関 (1件):
研究代表者: ( , 大学院 自然科学系, 教授 )
研究概要:
ダイヤモンド薄膜のローカル結晶方位に依存しない、グローバル平坦化化学研磨条件の確立を目的とし、現在実用化されているダイヤモンド多結晶薄膜を対象にした最適化学研磨条件を研磨雰囲気の制御により明らかにする。
タイトルに関連する用語 (4件):
タイトルに関連する用語
J-GLOBALで独自に切り出した研究課題タイトルの用語をもとにしたキーワードです
研究制度:
研究所管機関:
国立研究開発法人科学技術振興機構

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