走査電子顕微鏡による透過二次電子像観察のための試料ホルダ開発

実施期間：2008 - 2008
実施機関 (1件)：
研究代表者： ( , 実験実習機器センター, その他 )
研究概要：

走査電子顕微鏡(SEM)を用いて、透過電子顕微鏡(TEM)用薄膜試料の透過二次電子像が観察できる試料ホルダの開発・実用化を試みるものである。透過像観察の試料は、超薄切片、薄膜上の微生物・タンパク、レプリカ膜などとし、これらの試料が装着できる形状とする。得られる透過二次電子像のコントラスト・解像度及び試料移動等の操作性についてTEMに匹敵する性能を目指すと共に、薄膜試料のX線元素分析にも対応できる試料ホルダの開発をするものである。

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研究制度：＞＞＞＞
研究所管機関：

国立研究開発法人科学技術振興機構

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