高熱伝導・低熱膨張を特長とする新規複合材料の開発

実施期間：2009 - 2009
実施機関 (1件)：
研究代表者： ( , 大学院工学研究科, 准教授 )
研究概要：

水溶液に浸すだけの簡便で低コストなウェットプロセスにより、シリコン表面から内部に微細立体構造を形成し、さらにその表面に金属被覆・充填を行う。これにより、パワーデバイスなどの高出力半導体素子のヒートシンクなどとして利用可能な、高熱伝導性を持つ低熱膨張性複合材料を開発する。

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研究制度：＞＞＞＞
研究所管機関：

国立研究開発法人科学技術振興機構

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