研課題
J-GLOBAL ID:202104001143911846  研究課題コード:09156747

大気圧グロー放電によるアモルファスカーボン膜の高速成膜技術の開発

実施期間:2009 - 2009
実施機関 (1件):
研究代表者: ( , 大学院工学研究科, 特任教授 )
研究概要:
廃液処理や生産環境等に課題があるめっきに代わる環境適応型ドライプロセスによる高速表面処理技術の開発ニーズは大きい。プラズマCVD、スパッタリング等、従来型ドライプロセス成膜法は、低気圧放電プラズマを利用するものであり、その成膜速度は0.02μm/min程度と遅く生産効率が高くない。また、高真空を必要とするため装置コストも高い。本研究では、安定な大面積大気圧グロー放電プラズマの生成と、これを用いた高品質カーボン膜の高速成膜技術を開発する。
タイトルに関連する用語 (5件):
タイトルに関連する用語
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研究制度:
研究所管機関:
国立研究開発法人科学技術振興機構

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