研課題
J-GLOBAL ID：202104001239542493
研究課題コード：10102505
13.56MHz発信機を用いた半導体リソグラフィ用EUV光源の最適化
実施期間：2010 - 2011
実施機関 (1件)：
研究責任者：
(
, システム理工学部, 教授 )
研究概要：
現在の最新のVLSIはトランジスターの大きさが45nmであるのに対して、新しいチップは22nm以下を目標においている。それの実現のためにはリソグラフィ過程で用いる波長13.5nmの極端紫外(EUV)光源の開発が不可欠である。小職は昨年核融合炉研究のためのロトマクと呼ばれる装置で、200kHz高周波電源により直径70mmの球形状Xeプラズマを生成し、100WのEUV光の発生に成功した。実用機においてはEUV光を効率的にリソグラフィに用いるために、半径1~3mm、EUV出力100W以上の光源が要求される。すなわち、現状研究結果においてEUV出力を変えずに光源を小型化することが求められる。その要求を満たすべく13.56 MHzの高周波発振器を備えた装置を用いて小型化の可能性を示すとともに、EUV出力を最大にするパラメータ(共振条件、アンテナ形状、Xeガス圧等)を考察する。
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