研課題
J-GLOBAL ID:202104001396006449  研究課題コード:13419271

8インチ基板を用い、安全性を強化した高反応・高吸収効率MEMSフローリアクターの高精密製作量産化技術の開発

実施期間:2013 - 2014
実施機関 (2件):
企業責任者:
研究責任者: ( , 集積マイクロシステム研究センター, 主席研究員 )
研究制度:
研究所管機関:
国立研究開発法人科学技術振興機構

前のページに戻る