高精度高分解能荷電粒子撮像素子の開発

体系的課題番号：JPMJSN06B8
実施期間：2006 - 2008
実施機関 (1件)：
研究責任者： ( , 大学院理学研究院, 教授 )
DOI： https://doi.org/10.52926/JPMJSN06B8
研究概要：

荷電粒子を高精度・高分解能で2次元検出する技術はイオン顕微鏡や電子顕微鏡において必要不可欠であり、また、質量分析、電子線分光・回折においても有用です。本開発では分光・投影した荷電粒子の二次元イメージを空間分解能10μmで検出できる半導体素子を開発します。この半導体検出器は二次電子放出の原理を利用し分解能あたり数10万個分までの荷電粒子を電荷として蓄積します。この蓄積電荷を統計誤差の定量性で読み出す技術も確立します。

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研究制度：＞＞＞＞
研究所管機関：

国立研究開発法人科学技術振興機構

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