カーボンナノチューブと金属の傾斜接合技術の創製

実施期間：2010 - 2010
実施機関 (1件)：
研究責任者： ( , 工学研究科, 助教 )
研究概要：

カーボンナノチューブ(CNT)電子デバイスの実用化には、CNTを金属へコンタクト抵抗を低減させて接合する技術が必要不可欠である。本課題では、CNT先端を金属表面へジュール加熱により直接良導電性接合するための要素技術を創製することを目標とした。CNTと金属の接合過程を原子構造観察と同時に電流-電圧測定できるその場透過電子顕微鏡法により明らかにした。CNT先端と接触している電極金属の表面をジュール加熱によりナノサイズの局所領域だけを溶融させ、CNT先端と金属を直接接合させることに成功した。この接合によりCNTと金属の界面におけるコンタクト抵抗を半分程度に低減できることを見出した。

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研究所管機関：

国立研究開発法人科学技術振興機構

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