研課題
J-GLOBAL ID:202104001698064421
研究課題コード:11103976
ダイヤモンドライクカーボン(DLC)の最適摺動温度の検討
実施期間:2011 - 2012
実施機関 (1件):
研究責任者:
(
, その他部局等, 研究員 )
研究概要:
PBIID(RF・高電圧パルス重畳方式プラズマイオン注入・成膜)法を用いて成膜したDLC膜の耐熱性などの温度特性と摩擦挙動の関係を把握するために温度処理をした試料を用いて摩擦試験を行った。また水素含有のDLC膜の耐熱性、分解に関係すると思われる水素原子の温度変化に伴う挙動を、パルスNMRを用いてT2緩和時間を測定することで、明らかに出来ると推察し、温度変化に伴うDLC膜の運動性の変化について探索することを目標として実験を行った。
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