研課題
J-GLOBAL ID:202104001714864786  研究課題コード:7700001940

低誘電率BCN膜成膜装置

体系的課題番号:JPMJTT0414
実施期間:2004 -
実施機関 (2件):
研究代表者: ( , 大学院工学研究科, 教授 )
企業責任者:
DOI: https://doi.org/10.52926/JPMJTT0414
タイトルに関連する用語 (2件):
タイトルに関連する用語
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研究制度:
研究所管機関:
国立研究開発法人科学技術振興機構

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