磁気MEMSを利用した微小振動計測システムの開発

体系的課題番号：JPMJSN13B3
実施期間：2013 - 2016
実施機関 (1件)：
研究責任者： ( , 電気通信研究所, 教授 )
DOI： https://doi.org/10.52926/JPMJSN13B3
研究概要：

超高感度振動計測システムの開発を行う。磁歪薄膜技術とMEMS 技術を融合させた磁気MEMS 技術により現行の金属ひずみゲージの1万倍の感度を有する検知素子を開発し、極微振動を検知するシステムを実現する。これにより、例えば橋梁の振動を橋脚根元付近に取り付けた装置で計測可能となり、その振動スペクトルから健全性の診断を可能とする。さらにこの技術は振動を駆動源とする環境発電分野への展開も期待される。

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研究制度：＞＞＞＞
研究所管機関：

国立研究開発法人科学技術振興機構

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