研課題
J-GLOBAL ID:202104002170666833  研究課題コード:15663065

超音波定在波を用いた局所空間のゆらぎ抑制によるワイヤボンダの位置決め精度向上

体系的課題番号:JPMJTM15ED
実施期間:2015 - 2016
実施機関 (1件):
研究責任者: ( , 若手研究イノベータ養成センター )
研究制度:
研究所管機関:
国立研究開発法人科学技術振興機構

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