研課題
J-GLOBAL ID:202104002170666833 研究課題コード:15663065
超音波定在波を用いた局所空間のゆらぎ抑制によるワイヤボンダの位置決め精度向上
体系的課題番号:
JPMJTM15ED
実施期間:
2015 - 2016
実施機関 (1件):
名古屋工業大学
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研究責任者:
星 貴之
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(
名古屋工業大学
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, 若手研究イノベータ養成センター )
研究制度:
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研究所管機関:
国立研究開発法人科学技術振興機構
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