研課題
J-GLOBAL ID:202104002179217896  研究課題コード:12102836

SrTiO3単結晶基板表面へのハーフステップ構造形成技術の開発

実施期間:2012 - 2013
実施機関 (1件):
研究責任者: ( , 工学研究科, 教授 )
研究概要:
薄膜成長用複合酸化物基板の表面ステップテラス構造において、テラス終端原子面種やステップテラス高さを制御できる技術開発の探索を行った。その結果、SrTiO3をモデル結晶として、Sr、Tiイオンの空孔形成エネルギーを添加物イオンにより調整したところ、 熱処理法により(001)表面にハーフステップ高さを有するステップテラス構造を構築することに成功した。空孔形成エネルギー制御という当初の目的について達成できた。ここで得られた技術は、SrTiO3に代表される各種複合酸化物結晶についても同様に展開できる基本的な技術であると考えている。今後、より再現性の高い技術として確立させるために、添加物の添加量、熱処理時の酸素分圧の最適化に取り組む。
タイトルに関連する用語 (3件):
タイトルに関連する用語
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研究制度:
研究所管機関:
国立研究開発法人科学技術振興機構

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