電子誘電体の薄膜化基礎技術研究

実施期間：2011 - 2012
実施機関 (1件)：
研究責任者： ( , 自然科学研究科, 教授 )
研究概要：

電子誘電体の実用化研究の一助として、酸化鉄複電荷化合物をスパッタ法により、薄膜化する研究を行なっている。この材料は大気中において表面10nmのスケールで酸化が進行し、二価鉄と三価鉄の存在比が狂うことが判明した。薄膜試料は表面敏感になることから、アルゴン雰囲気中で試料特性を評価できる環境が整備され、薄膜試料の特性、微細加工試料の特性、フェルミ面の決定、磁場中誘電率特性の詳細が明らかになった。

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研究制度：＞＞＞
研究所管機関：

国立研究開発法人科学技術振興機構

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