研課題
J-GLOBAL ID:202104002448742447  研究課題コード:10100923

超長尺基板対応大面積プラズマスパッタシステムの開発

実施期間:2010 - 2011
実施機関 (2件):
企業責任者:
研究責任者: ( , 接合科学研究所, 教授 )
タイトルに関連する用語 (3件):
タイトルに関連する用語
J-GLOBALで独自に切り出した研究課題タイトルの用語をもとにしたキーワードです
研究制度:
研究所管機関:
国立研究開発法人科学技術振興機構

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