酸化亜鉛系半導体発光デバイスの開発

実施期間：2005 - 2008
実施機関 (1件)：
研究責任者： ( , 学内共同利用施設等, その他 )
研究概要：

励起子の結合エネルギーが60 meVと大きいために発光効率が高いと考えられている酸化亜鉛発光ダイオード(ZnO-LED)の開発を目標に研究を行った。高品質なZnO 単結晶基板上へ、独自に開発したプラズマアシスト反応性蒸着(PARE)法を用いてp形ZnO薄膜を作製することでZnO-pnホモ接合LEDを試作した。このZnO-LEDから、電流注入により波長375 nm付近の強い紫外線発光を得ることに初めて成功した。この発光はZnOで高効率発光が得られると期待されていた励起子によるものであることを明らかにし、ZnO-LED実用化の見通しを得た。育成研究期間の3年間で、紫外線の発光強度を3桁以上増加できた。

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研究制度：＞＞＞＞
研究所管機関：

国立研究開発法人科学技術振興機構

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